[이데일리 김정유 기자] 중국의 자체 액침형 심자외선(DUV) 노광장비 양산의 주체로 알려진 ‘상하이 이아성나전자기술그룹’에 대한 시장의 관심이 높아지고 있다. 설립 4년차 기업에 불과하지만 국영 주주 2곳이 지분을 보유하고, 실질적인 인적 구성도 미국 제재 중인 화웨이의 영향이 짙다는 점에서 반도체 시장의 큰 변수로 떠오른 모습이다.

그래픽=이데일리 김정훈 기자

28일(현지시간) 로이터통신 보도에 따르면 중국 상하이 아이성나전자기술그룹(아이성나)는 최근 첨단 반도체 생산에 사용되는 침지형 DUV 노광장비 양산에 돌입, 올해 5대를 출하하겠다고 밝혔다. 아이성나는 2023년 8월 상하이 푸둥에서 시작한 반도체 장비 업체다. 유한책임회사 형태로 설립됐으며, 자본금은 70억 100만 위안(한화 약 1조 5000억원)이다. 주요 주주는 상하이 전기와 상하이 국제신탁 등 국영 주주 2곳이다.

또한 아이성나의 임원들인 딩공밍 전무, 마오칭샹 최고재무책임자(CFO) 등이 사내이사진에 참여 중인 것으로 전해졌다. 다만 이외의 아이성나 관련 정보는 극히 드물다. 홈페이지도 없는데다, 사업 정보 공개도 하지 않고 있다.

로이터통신은 아이성나가 노광장비 업체 위량성, 상하이마이크로전자장비(SMEE) 개발팀을 흡수했다고 전했다. 이중 위량성은 미국의 수출제재를 받고 있는 화웨이가 지원하는 장비업체 시카리어의 계열사다.

현재 아이성나는 현재 화웨이와의 지분 관계나 인적 교류 등에 대해선 알려진 바 없다. 다만 화웨이가 지원하는 기업의 계열사인 위량성내 일부 개발팀을 보유했다는 점에서 양사간 연관 관계에 대한 관심이 높아지는 모양새다. 우선 위량성과 아이성나의 본사 소재지가 ‘상하이 푸둥 신구 민동로 500번지’로 같다는 점도 의구심을 높이고 있다.

아이성나의 주요 정보는 공개돼 있지 않지만 중국내 기업 신용조회플랫폼 등에서 일부 언급은 되고 있다. 바이두 아이치차에 따르면 아이성나는 연구개발팀의 50% 이상이 박사 또는 석사 학위를 보유하고 있는 기술 중심 기업이다. 급여 수준도 20만~30만 달러(한화 약 3~4억원) 수준으로 전해졌다.

다만 젊은 기업인만큼 내부 목표치를 과도하게 높게 설정하고, 노동 관련 분쟁 위험도가 있는 것으로도 전해졌다. 최근 들어선 샤오홍슈 등 중국 사회관계망서비스(SNS)에서 같은 비판들이 여러 차례 등장하고 있는 것으로 알려졌다.

아이성나가 양산을 시작한 DUV는 반도체 웨이퍼와 렌즈 사이를 물로 채워 더 미세한 회로를 새기는 장비다. 첨단 반도체로 분류되는 D램, 낸드플래시, 7나노급 생산에 쓰인다.

그간 중국은 미국의 수출체제로 극자외선(EUV) 장비를 도입하지 못하자 이후 침지형 DUV 장비를 들여왔다. 하지만 미국이 이마저도 제한하면서 중국의 반도체 자립을 사방에서 막고 있는 상황이다. 때문에 이번 DUV 자체 양산는 중국은 물론 글로벌 반도체 시장에도 큰 영향을 줄 것이란 전망이다.